项目公司于2020年成立。
在武汉、苏州、北京、新加坡等多地布局设立研发设计中心、产品中试平台及大规模量产基地;
致力于射频前端滤波器制造及其产品应用方案的实施。
技术优势分析——材料革新:
◆通过高钪掺杂氮化铝薄膜实现超大带宽
提出压电薄膜分步层级沉积技术,有效的调节 ScAlN薄膜的晶核形成及晶体取向,降低薄膜残余应力,获得成分均一的大尺寸ScAlN薄膜材料。
◆ 基于LN/LT的硅基压电POI衬底
提出键合-剥离一体化技术,有效降低异质键合结构剥离退火热应力,提高压电薄膜完整性和均一性。
技术优势分析——算法革新:
◆ 高优值体声波谐振器设计——通过自动演进算法产生超低杂波谐振器
提出自动演进算法,计算出高频伪模态抑制谐振器,并进行分析,有效抑制高频杂波伪模态。
技术优势分析——结构革新:
◆ 高优值体声波谐振器设计——设计新型厚度剪切模式谐振器结构
提出新型横向场激励体声波谐振器,有效提高K和Q值,实现高优值。
◆ 大带宽薄膜体声波滤波器研制——设计新型厚度剪切模式谐振器结构
采用ScAlN薄膜,通过优化薄膜晶体质量及滤波器拓扑结构,实现大带宽低损耗滤波器。
技术优势分析——工艺革新:
◆ 提出分布工艺法优化制程
基于分步工艺力学,薄膜封装工艺,提高良率。
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